中微公司 視覺中國 資料圖

2月27日，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（下稱“中微公司”，688012）發(fā)布2022年度業(yè)績快報。該公司營業(yè)總收入為47.40億元，和上年同期相比（同比）增加52.50%；歸屬于母公司所有者的凈利潤為11.70億元，同比增加15.66%；歸屬于母公司所有者的扣除非經(jīng)常性損益的凈利潤為9.19億元，同比增加183.44%。

中微公司稱，公司從2012年到2022年十年的平均年營業(yè)收入一直保持了高于35%的增長率。此次營業(yè)收入較上年同期增長52.50%，再創(chuàng)歷史新高。該公司在2022年新簽訂單金額約63.2億元，較2021年增加約21.9億元，同比增加約53.0%，訂單銷售比達到1.33。

中微公司主打產(chǎn)品為等離子體刻蝕設(shè)備，該設(shè)備是除光刻機以外最關(guān)鍵的微觀加工設(shè)備，也是制程步驟最多、工藝過程開發(fā)難度最高的設(shè)備。公告中提到，半導(dǎo)體微觀加工設(shè)備作為數(shù)碼產(chǎn)業(yè)的基石，是發(fā)展集成電路和數(shù)碼產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵，已成為人們最關(guān)注的硬科技產(chǎn)業(yè)之一。

公告稱，由于光刻機的波長限制和2維芯片到3維芯片的發(fā)展，等離子體刻蝕設(shè)備越來越成為卡脖子的設(shè)備，也成為十大類關(guān)鍵設(shè)備市場最大的一類，占半導(dǎo)體前道設(shè)備總市場的約25%。公司還布局薄膜設(shè)備（主要是化學(xué)薄膜和外延設(shè)備），這也是除光刻機和刻蝕機外第三大設(shè)備市場。此外，中微公司還通過投資布局了第四大設(shè)備市場，即光學(xué)檢測設(shè)備。

公司另一個主打產(chǎn)品MOCVD(金屬有機化合物化學(xué)氣相沉積)設(shè)備是三五族化合物半導(dǎo)體制造的最關(guān)鍵的核心設(shè)備。中微公司稱，這種高端外延設(shè)備從照明，向大面積顯示屏、功率器件、微顯示等新興領(lǐng)域迅速擴展，市場領(lǐng)域擴展迅猛。

據(jù)公告數(shù)據(jù)，截至2022年底，中微公司累計已有3311臺等離子體刻蝕和化學(xué)薄膜的反應(yīng)臺，在國內(nèi)、亞洲和歐洲的106條生產(chǎn)線，全面實現(xiàn)了量產(chǎn)和大量重復(fù)性銷售。

中微公司在公告中表示，今后公司將繼續(xù)瞄準世界科技前沿，堅持三維發(fā)展戰(zhàn)略，持續(xù)鍛造并提升經(jīng)營管理能力，降低國際科技和貿(mào)易摩擦、半導(dǎo)體行業(yè)周期等因素影響，實現(xiàn)高速、穩(wěn)定、健康和安全的發(fā)展。

中微公司是一家以中國為基地、面向全球的高端半導(dǎo)體微觀加工設(shè)備公司，是我國集成電路設(shè)備行業(yè)的領(lǐng)先企業(yè)。該公司創(chuàng)始人尹志堯博士在半導(dǎo)體芯片和設(shè)備產(chǎn)業(yè)目前已有近40年行業(yè)經(jīng)驗，是國際等離子體刻蝕技術(shù)發(fā)展和產(chǎn)業(yè)化的重要推動者。其他聯(lián)合創(chuàng)始人、核心技術(shù)人員和重要的技術(shù)、工程人員，包括杜志游、倪圖強、麥仕義、楊偉、李天笑等160多位各專業(yè)領(lǐng)域的專家，其中很多是在國際半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)耕耘數(shù)十年，為行業(yè)發(fā)展做出杰出貢獻的資深技術(shù)和管理專家。

中微公司目前聚焦用于集成電路、LED芯片等微觀器件領(lǐng)域的等離子體刻蝕設(shè)備、深硅刻蝕設(shè)備和MOCVD設(shè)備等關(guān)鍵設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。2019年7月22日，中微公司成為科創(chuàng)板首批上市企業(yè)。