在半導體裝備行業(yè)中，離子注入機被譽為芯片制造“摻雜工藝”的核心裝備，其技術難度之高、全球供應商之少，成為我國半導體產業(yè)鏈中遭遇“卡脖子”的關鍵環(huán)節(jié)之一。

在佛山南海桂城，一家成立僅四年多的年輕科技企業(yè)——季華恒一（佛山）半導體科技有限公司，正瞄準這一尖端領域持續(xù)攻堅。從2021年成立至今，季華恒一不僅實現了國產離子注入機“從0到1”的突破，更在短短四年內完成了從季華實驗室孵化企業(yè)到國家級專精特新“小巨人”企業(yè)的跨越式成長，成為佛山乃至粵港澳大灣區(qū)半導體裝備領域一支不容忽視的新銳力量。

瞄準“卡脖子”難題攻克關鍵核心技術

季華恒一（佛山）半導體科技有限公司是季華實驗室孵化的科技成果產業(yè)化公司，是一家集研發(fā)、生產、銷售和服務于一體的半導體裝備高新技術企業(yè)。公司專注于寬禁帶半導體裝備產業(yè)化，著力開發(fā)碳化硅（Sic）外延生長系統、離子注入系統、氧系統、退火系統等大功率芯片制造核心裝備。

“我們成立的初衷，就是要解決高端半導體裝備受制于人的問題。”季華恒一（佛山）半導體科技有限公司董事長伍三忠在接受采訪時坦言。2021年，在國際技術封鎖日益嚴峻的背景下，帶著季華實驗室的強大“基因”和呼應國家布局半導體產業(yè)的戰(zhàn)略使命，季華恒一正式成立，立志打造國內領先、國際先進的半導體裝備平臺型企業(yè)，助推我國半導體產業(yè)鏈的安全和自主可控。

生產車間。

“離子注入是芯片制造中最關鍵的摻雜工藝，相當于在硅片中‘精確植入’特定離子，實現對芯片電學性能的精準調整。”伍三忠用了一個生動形象的比喻：“就像將子彈打進墻體，我們不僅可以控制子彈的運動軌跡、打入深度，還可以控制打入的數量和角度，精準度要達到納米級甚至更高，其難度可想而知。”

這項技術的難度，使得全球范圍內能夠量產高性能離子注入機的企業(yè)不超過五家，其中美國占據兩家。在此之前，國內的離子注入設備幾乎完全依賴進口。

面對高度壟斷的技術壁壘，季華恒一由國務院政府特殊津貼專家等領軍人才牽頭，集聚了一支以研究員和博士等為核心的半導體制造裝備技術研發(fā)和管理團隊，依托20多年的深厚技術積累，迅速投入技術“破壁”攻堅，不斷實現成果轉化。

離子注入機。

SiC高溫外延生長裝備。

公司自主研制的碳化硅高溫高能離子注入機攻克大束流金屬離子源、高溫靶室精密掃描、碳化硅晶片自動傳輸控制技術；碳化硅外延生長裝備攻克耐高溫耐腐蝕材料反應室設計技術、均勻高溫加熱場設計、高精度溫度控制技術、膜厚及表面形貌的高精度實時監(jiān)控技術、高速外延工藝技術等，能實現高效高質量碳化硅外延批量穩(wěn)定生產，達到國際先進水平。

截至目前，公司累計研發(fā)投入1481萬元，申請國內發(fā)明專利52件、國際專利1件，并牽頭承擔佛山市科技創(chuàng)新團隊項目，已然交出一份亮眼的“創(chuàng)新破局答卷”。

加快產業(yè)化進程“桂城造”落地生根

“研發(fā)只是解決‘從0到1’的一個問題，產業(yè)化的過程解決的是‘從1到100’的過程?！痹谖槿铱磥?，核心技術是企業(yè)發(fā)展的關鍵，但成果的落地應用和市場推廣也不可或缺。沒有市場的認可，就沒有企業(yè)的生存發(fā)展；沒有國產替代進口，就沒有產業(yè)主動權和話語權。因此，公司自成立時，便明晰了研發(fā)和市場“雙線并行、同步推進”的策略。

而在推動技術產業(yè)化的過程中，季華恒一更探索出了一條“從零到整”的市場推廣穩(wěn)健路徑。“我們先通過為客戶提供關鍵零部件和技術服務，解決他們生產線上的實際難題，逐步建立信任。待整機研發(fā)成熟后，客戶接受度自然提高?！?/p>

技術人員在調試設備。

伍三忠介紹，公司首臺整機裝備——離子注入機于2023年下線并實現銷售，這在技術突破、企業(yè)發(fā)展和行業(yè)進步方面均具有里程碑意義。自此，公司進一步打開市場，目前已累計完成超40臺套國產碳化硅器件制造裝備的客戶應用，2024年銷售收入達5124萬元，累計銷售收入突破1億元。

公司產品可滿足制造具有極高的耐壓水平和能量密度的大功率半導體器件，滿足電力傳輸、新能源汽車、現代國防武器裝備等重大戰(zhàn)略領域對高性能、大功率電力電子器件的迫切需求。由于發(fā)展迅速、前景廣闊，季華恒一也獲得了資本市場的關注和高度認可。2024年，企業(yè)已完成5000萬元的融資，“身價”估值5億元。

榮譽墻。

2021年成立，2022年成為“規(guī)上”企業(yè)，2023年獲評“國家高新技術企業(yè)”，2024年成為“專精特新中小企業(yè)”，2025年入選“專精特新‘小巨人’企業(yè)”，一路走來，季華恒一可謂一步一個腳印，一年一大跨越。

公司主導產品先后榮獲第二十四屆中國國際高新技術成果交易會優(yōu)秀產品獎、第十一屆中國創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽全國優(yōu)秀獎及廣東賽區(qū)二等獎，并連續(xù)兩屆奪得佛山市創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽一等獎。2025年，公司獲批建設佛山市半導體制造裝備工程技術研究中心，進一步強化了其在區(qū)域創(chuàng)新體系中的支撐地位。

立足桂城放眼全球“小巨人”勇闖新天地

“今次獲得‘小巨人’的認定，既是從國家層面對公司發(fā)展的認可，也是對公司進一步發(fā)展的促進，能形成更好的品牌效應。這既是一種榮譽，也是一種激勵。”

作為目前佛山乃至廣東（深圳除外）半導體裝備領域的“獨角獸”，季華恒一的快速發(fā)展，離不開桂城街道及南海區(qū)政府大力支持?！肮鸪墙值捞峁┝恕Ｄ肥健姆蘸椭С郑屍髽I(yè)可以一心一意干好自己的事情?！蔽槿姨貏e提到，公司在成立之時作為創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)項目獲得政府在方向和經費方面的支持，同時，桂城著力打造“人才樂園”城市名片，交通出行、居住環(huán)境、生活服務等各種配套不斷完善和提升，讓更多人才選擇來這里安居樂業(yè)。

但他也坦言，佛山在半導體產業(yè)生態(tài)方面仍較薄弱，企業(yè)面臨材料供應商和客戶“兩頭在外”的尷尬。他希望政府借勢“南?？苿?chuàng)20條”等政策的落地，推動半導體產業(yè)集聚發(fā)展：“希望政府能引進更多半導體上下游企業(yè)，形成產業(yè)鏈協同效應，讓我們這樣的裝備企業(yè)能在家門口找到市場、找到配套?！?/p>

季華恒一所在的產業(yè)園區(qū)。

“我們仍是初創(chuàng)企業(yè)，與國內國際頭部企業(yè)相比，還有很長的路要走。”伍三忠始終保持清醒。

目前，季華恒一團隊約40人，以研發(fā)人員為主，年研發(fā)投入占銷售收入20%以上。面向未來，公司已制定清晰的發(fā)展規(guī)劃：技術層面，在持續(xù)優(yōu)化碳化硅裝備的同時，向14納米以下、7納米以下更高端離子注入裝備攻堅；市場層面，抓住國內14納米以下設備國產化率不足5%的市場窗口，不斷深耕國內市場，同時推進俄羅斯、歐洲等海外市場的訂單洽談，推動國產高端裝備“走出去”，謀劃全球布局。

從實驗室孵化到市場驗證，從技術突破到資本認可，季華恒一作為桂城孕育的“小巨人”，在中國半導體裝備自主化的征程中正邁開堅實步伐，闖出廣闊天地。伍三忠表示，公司將繼續(xù)秉持“技術驅動、市場導向”的發(fā)展理念，朝著“國內領先、國際先進的半導體裝備平臺型企業(yè)”的目標進發(fā)，為中國半導體產業(yè)的自主可控與高質量發(fā)展貢獻“桂城力量”。

來源：南海融媒（記者：邵澤權）

編輯：佛山新聞網  羅靜文